堅正冷氣工程公司


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潔淨室等級標準列表

Class Number of Micrometer Size Particles per Cubic Feet/Meter Class
Federal Standard 209E 0.5um 0.5um 0.3um 0.2um 0.1um ISO14644
Metric English ft3 m3 m3 m3 m3 Metric
2 10 ISO1
4 10 26 100 ISO2
M1.5 1 35 106 265 1000 ISO3
M2.5 10 10 353 1060 2650 10000 ISO4
M3.4 100 100 3530 10600 26500 100000 ISO5
M4.5 1000 1000 35300 106000 265000 1000000 ISO6
M5.5 10000 10000 353000 ISO7
M6.5 100000 100000 3530000 ISO8
1000000 35300000 ISO9




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